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首頁 - 閥門知識(shí) -工作原理
進(jìn)口真空閥門的相關(guān)專業(yè)術(shù)語

進(jìn)口真空閥門的相關(guān)專業(yè)術(shù)語

真空閥門是指在真空系統(tǒng)中,用來改變氣流方向,調(diào)節(jié)氣流量大小,切斷或接通管路的真空系統(tǒng)元件,是指工作壓力低于標(biāo)準(zhǔn)大氣壓的閥門。真空閥門關(guān)閉件是用橡膠密封圈或金屬密封圈來密封的。專業(yè)術(shù)語,指特定領(lǐng)域?qū)σ恍┨囟ㄊ挛锏慕y(tǒng)一的業(yè)內(nèi)稱謂,該詞運(yùn)用在各行各業(yè)中。本文詳細(xì)描述進(jìn)口真空閥門領(lǐng)域?qū)σ恍┱婵臻y門的統(tǒng)一的業(yè)內(nèi)稱謂。具體描述如下:

0、  真空閥門

真空閥門是在真空系統(tǒng)中用來隔離(切斷)氣流、調(diào)節(jié)氣流流量、分配氣流的真空元件。

真空閥門的應(yīng)用

真空閥門常用于真空泵抽速測量、真空鍍膜、離子束刻蝕、受控?zé)岷朔磻?yīng)裝置等真空系統(tǒng)上,提供精確調(diào)節(jié)的氣體流量,用以獲得穩(wěn)定的工藝要求的真空度;高真空擋板閥、高真空插板閥,常用于主抽氣泵的進(jìn)氣口上,用來隔離真空泵,使之不暴露于大氣之中。高真空蝶閥可裝于真空室,真空管道與真空泵之間,用以接通和隔離(截止)氣流。閥門設(shè)計(jì)不應(yīng)當(dāng)漏氣、發(fā)生機(jī)械、電氣故障等。

1、真空閥門的真空的定義

真空系統(tǒng)指低于該地區(qū)大氣壓的稀簿氣體狀態(tài)。

2、真空閥門的真空度

處于真空狀態(tài)下的氣體稀簿程度,通常用“真空度高”和“真空度低”來表示。真空度高表示真空度“好”的意思,真空度低表示真空度“差”的意思。

3、真空閥門的真空度單位

通常用托(Torr)為單位,近年國際上取用帕(Pa)作為單位。

1托=1/760大氣壓=1毫米汞柱

4、托與帕的轉(zhuǎn)換

1托=133.322帕 或 1帕=7.5×10-3

5、平均自由

作無規(guī)則熱運(yùn)動(dòng)的氣體粒子,相繼兩次碰撞所飛越的平均距離,用符號(hào)“λ”表示。

6、真空閥門的流量

單位時(shí)間流過任意截面的氣體量,符號(hào)用“Q”表示,單位為帕·升/秒(Pa·L/s)或托·升/秒(Torr·L/s)。

7、流導(dǎo)

表示真空管道通過氣體的能力。單位為升/秒(L/s),在穩(wěn)定狀態(tài)下,管道流導(dǎo)等于管道流量除以管道兩端壓強(qiáng)差。符號(hào)記作“U”。

UQ/(P2- P1)

8、真空閥門的壓力或壓強(qiáng)

氣體分子作用于容器壁的單位面積上的力,用“P”表示。

9、標(biāo)準(zhǔn)大氣壓

壓強(qiáng)為每平方厘米101325達(dá)因的氣壓,符號(hào):(Atm)。

10、極限真空

真空容器經(jīng)充分抽氣后,穩(wěn)定在某一真空度,此真空度稱為極限真空。通常真空容器須經(jīng)12小時(shí)煉氣,再經(jīng)12小時(shí)抽真空,最后一個(gè)小時(shí)每隔10分鐘測量一次,取其10次的平均值為極限真空值。

11、抽氣速率

在一定的壓強(qiáng)和溫度下,單位時(shí)間內(nèi)由泵進(jìn)氣口處抽走的氣體稱為抽氣速率,簡稱抽速。即SpQ/PP0

12、電離真空計(jì)(又熱陰極電離計(jì))

由筒狀收集極,柵網(wǎng)和位于柵網(wǎng)中心的燈絲構(gòu)成,筒狀收集極在柵網(wǎng)外面。熱陰極發(fā)射電子電離氣體分子,離子被收集極收集,根據(jù)收集的離子流大小來測量氣體壓強(qiáng)的真空計(jì)。

13、熱偶真空計(jì)

利用熱電偶的電勢與加熱元件的溫度有關(guān),元件的溫度又與氣體的熱傳導(dǎo)有關(guān)的原理來測量真空度的真空計(jì)

14、電阻真空計(jì)

利用加熱元件的電阻與溫度有關(guān),元件的溫度又與氣體傳導(dǎo)有關(guān)的原理,通過電橋電路來測量真空度的真空計(jì)。

15、冷陰極電離計(jì)

陽極筒的兩端有一對(duì)陰極板,在外加磁場作用,陽極筒內(nèi)形成潘寧放電產(chǎn)生離子,根據(jù)陰極板收集的離子流的大小來測定氣體壓強(qiáng)的真空計(jì)。

16、復(fù)合真空計(jì)

由熱偶真空計(jì)與熱陰極電離真空計(jì)組成,測量范圍從大氣~10-5Pa。

17、麥克勞真空計(jì)(壓縮式真空計(jì))

將待測的氣體用汞(或油)壓縮到一極小體積,然后比較開管和閉管的液柱差,利用玻義爾定律直接算出氣體壓強(qiáng)的一種絕對(duì)真空計(jì)。

18、BA規(guī)

這是一種陰極與收集極倒置的熱陰極電離規(guī)。收集極是一根細(xì)絲,放在柵網(wǎng)中心,燈絲放在柵網(wǎng)外面,因而減少軟X射線影響,延伸測量下限,可測超高真空。

19、水環(huán)真空泵

泵的葉輪轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)而產(chǎn)生水環(huán)。由于轉(zhuǎn)子偏心旋轉(zhuǎn)而使水環(huán)與葉片間容積發(fā)生周期性改變而進(jìn)行抽氣的機(jī)械真空泵。

20、往復(fù)真空泵

利用活塞的往復(fù)運(yùn)動(dòng)而進(jìn)行抽氣的機(jī)械真空泵。

21、油封機(jī)械真空泵

用油來保持密封的機(jī)械真空泵,可分為定片式、旋片式、滑閥式、余擺線式等。

22、羅茨真空泵

具有一對(duì)同步高速旋轉(zhuǎn)的鞋底形轉(zhuǎn)子的機(jī)械真空泵,此泵不可以單獨(dú)抽氣,前級(jí)需配油封、水環(huán)等可直排大氣的真空泵。

23、渦輪分子真空泵

有一高速旋轉(zhuǎn)的葉輪,當(dāng)氣體分子與高速旋轉(zhuǎn)的渦輪葉片相碰撞時(shí)就被驅(qū)向出氣口再由前級(jí)泵抽除。

24、油擴(kuò)散真空泵

擴(kuò)散泵噴口中噴出高速蒸汽流。在分子流條件下,氣體分子不斷地向蒸流中擴(kuò)散,并被蒸汽帶向泵出口處逐級(jí)被壓縮后再由前級(jí)泵排除。

25、低溫真空泵

利用20K以下的低溫表面凝聚吸附氣體的真空泵。

26、冷阱(水冷擋板)

置于真空容器和泵之間,用于吸附氣體或捕集油蒸汽的裝置

27、氣鎮(zhèn)閥

油封機(jī)械真空泵的壓縮室上開一小孔,并裝上調(diào)節(jié)閥,當(dāng)打開閥并調(diào)節(jié)入氣量,轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)到某一位置,空氣就通過此孔摻入壓縮室以降低壓縮比,從而使大部分蒸汽不致凝結(jié)而和摻入的氣體一起被排除泵外起此作用的閥門稱為氣鎮(zhèn)閥。

28、真空冷凍干燥

真空冷凍干燥,也稱升華干燥。其原理是將材料冷凍,使其含有的水份變成冰塊,然后在真空下使冰升華而達(dá)到干燥目的。

29、真空蒸鍍

真空環(huán)境中,將材料加熱并鍍到基片上稱為真空蒸鍍,或叫真空鍍膜。

30、真空干燥

利用真空環(huán)境下沸點(diǎn)低的特點(diǎn)來干燥物品的方法。

31、真空系統(tǒng)常用名稱

(1)主泵:在真空系統(tǒng)中,用于獲得所需要真空度來滿足特定工藝要求的真空泵,如真空鍍膜機(jī)中的油擴(kuò)散泵就是主泵。

(2)前級(jí)泵:用于維持某一真空泵前級(jí)壓強(qiáng)低于其臨界前級(jí)壓強(qiáng)的真空泵。如羅茨泵前配置的旋片或滑閥泵就是前級(jí)泵。

(3)粗抽泵:從大氣壓下開始抽氣,并將系統(tǒng)壓力抽到另一真空泵開始工作的真空泵。如真空鍍膜機(jī)中的滑閥泵,就是粗油泵。

(4)維持泵:在真空系統(tǒng)中,氣量很小時(shí),不能有效地利用前級(jí)泵。為此配置一種容量較小的輔助泵來維持主泵工作,此泵叫維持泵。如擴(kuò)散泵出口處配一臺(tái)小型旋片泵,就是維持泵。

32、真空閥門的設(shè)計(jì)原則

  1、閥門的密封性能要好,不但閥板封閉處漏氣速率要小,而且閥體的漏氣速率要。

  2、閥門密封部件耐磨性要好,特別是閥座與閥板密封部件要能反復(fù)使用,壽命長;

  3、閥門的通導(dǎo)能力要大;

  4、閥門材料應(yīng)具有低飽和蒸汽壓、高耐蝕能力和高化學(xué)穩(wěn)定性;

  5、超高真空閥門應(yīng)耐烘烤,烘烤溫度一般不低于150℃,gao450℃;

  6、閥門結(jié)構(gòu)要簡單,造型美觀大方,開關(guān)輕便靈活,開關(guān)狀態(tài)應(yīng)有標(biāo)識(shí),大型閥門應(yīng)有起吊裝置,操作方便,維修容易;

  7、閥門零部件加工工藝性要好,表面處理工藝先進(jìn),閥門連接法蘭應(yīng)符合真空法蘭國家標(biāo)準(zhǔn)要求。


 
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